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紫外线灭菌是利用紫外线灯照射，使细菌发生直接光化学反应，将细菌细胞质诱导形成胸腺嘧啶双聚体，从而抑制DNA的复制而致死；另一方面，空气在紫外线的照射下，一部分氧原子（O2）电离成离子氧（O），再将一部分原子氧（O2）氧化成臭氧（O3），或将水（H2O）氧化成过氧化氢（H2O2），离子氧、臭氧和过氧化氢均具有一定的杀菌作用，使空气中的细菌死亡。