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（1）高分辨率：具有原子尺度的高分辨率本领，侧分辨率为0.1～0.2nm，纵分辨率可达0.001nm； （2）直接探测样品的表面结构：可绘出立体三维结构图像； （3）可以在真空、大气、液体（接近于生理环境的离子强度）等多种条件下工作； （4）非破坏性测量：由于没有高能电子束，对表现没有破坏作用（如辐射、热损伤等），能对生理状态下的生物大分子和活细胞膜表面的结构进行研究，样品不会受到损伤而保持完好； （5）扫描速度快，获取数据的时间短，成像快。